照明係統發出單色激光1，經反射鏡2、聚光鏡、光闌4射入儀器內的半透半反鏡5，經準直物鏡12折射成平行光，然後射出。朝向標準平麵晶體13和檢查平麵晶體。從晶體14、標準平麵晶體13和被檢查平麵晶體14反射的光重疊形成相幹光束。長度精密檢測
相幹光束通過半透半反鏡5、反光鏡6、轉向鏡組7和入射光闌8反射回來，通過觀察物鏡9成像在測微目鏡的分劃板10上，可以得到通過目鏡組 11. 觀察幹涉條紋，測量幹涉條紋的彎曲度，校準測量幹涉條紋的間距。
激光平麵幹涉儀測量檢測的工作原理
當一束給定波的單色平行光照射在由兩個平麵形成的具有小楔角z的空氣楔上時，兩個平麵分別反射的兩束相幹光在交匯點處具有一定的光程差, 這個光程差△隻與氣隙的厚度有關。在厚度相同的情況下，兩個反射光束的光程差相同。因此，相同的幹涉條紋出現在氣隙厚度相同的地方。反射光被稱為“等厚幹涉原理”。
外校準儀等厚幹涉條紋的形狀是由氣隙厚度相同的軌跡決定的。
因此，平麵度是根據幹涉條紋的形狀來確定的。蜜桃视频APP下载官网
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